高性价比金属密封产品，高精度，多气体多量程，自动调零，量程2sccm-30slm，全金属密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet
详细参数
产品技术指标
| 产品型号 |
CS200-D |
| 量程(N2) |
( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM |
| 精度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
| 重复精度 |
±0.2% FS |
| 线性 |
±0.5% FS |
| 响应时间 |
≤0.8 sec (SEMI E17-0600) |
| 阀类型 |
Normally Closed or Normally Open |
| 温度系数 |
Zero: ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃ |
| 零点漂移指标 |
＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 表面粗糙度 |
25µinch |
| 工作环境温度 |
（0～50）℃ |
| 数字信号接口 |
ital: RS485
DeviceNetTM |
| 模拟流量输出信号 |
0-5V和4-20mA |
| 模拟流量控制信号 |
0-5V和4-20mA |
| 电源要求 |
±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) |
| 电连接器 |
D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale |
| 工作压差范围 |
(0.05～0.35) Mpa（≤10slm）
(0.1～0.35) Mpa（>10slm） |
| 最大耐压 |
3MPa |
| 漏率 |
1×10-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He） |
| 密封材料 |
Metal |
| 表面化学成分 |
Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 |
| 接头尺寸 |
VCR1/4” M
SwagelokΦ6，Swagelok1/4”
W-seal，C-seal |
| 重量 |
1.2kg |
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