3766 D07-7B型气体质量流量控制器 - 气体质量流量计 - 液体/气体流量计 - 流体控制 - 产品分类 - 上海淞涵精密设备科技有限公司
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产品名称:D07-7B型气体质量流量控制器
产品编号:SY1805003
产地:中国

    流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

    详细参数

 

 

 

标准:

 

 

气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:

 

标准温度………………0℃(273.15K)

 

 

标准压强………………101325Pa


输入和输出:

输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA

输入设定电压…………0~+5.00V

输出电压检测…………0~+5.00V

产品技术指标

满量程流量范围(N2

5SCCM~10SLM/MIN

控制范围

2~100%F.S.

阀类型(及阀初始状态)

电磁调节阀(常闭)

准确度

±1.5%F.S.

线性

±0.5~1.5%F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤7sec

工作温度范围

5~45℃

工作压差

0.1~0.5MPa

耐压

3MPa

漏气率

1×10-8atm.cc/sec He

通道湿材料

316L不锈钢、密封材料

静密封材料

氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶)

电连接器

D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale

动密封材料

氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯)

接头选择

VCR    1/4”

Swagelok    1/4”或φ6、φ3

重量

1.1Kg

 

全国免费咨询电话/Tel:400-066-5716或021-65658708     地址:上海市杨浦区国权路525号复华大厦副楼203、206室
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