产品特性
● 显微镜观察所需操作基本电动化，极大提高工作效率
● 观察条件可设定并存储，使每个操作者得到最适宜自己的观察条件
● 两种尺寸载物台可选：分别用于200mm晶圆和300mm晶圆
● 内置式自动聚焦和手动聚焦两种镜体可选
技术规格
目镜/物镜:
UIS 目镜 F.N.26.5
UIS 物镜 物镜适配器，配合明视野物镜
显微镜镜体:
兼容镜体 适用于200/300mm晶圆观测，一个RS232C外部通讯接口。
电动对焦部件：
·垂直行程25mm；Z轴向分辨率50nm(带50倍或更高放大倍率的物镜)
·各物镜可进行对焦调节；高度限制；载物台降低(返回可设定)
反光照明:
照明(一体化)系统：
电动选择观测系统(4组分光镜选择，用于明视野法、暗视野法、偏振光和荧光照射观测)
自动聚焦(一体化)系统：
激光主动法。波长：λ=780nm，CDRH 1级兼容。
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